在潔凈室生產(chǎn)環(huán)境中，氣態(tài)分子污染物（AMC）的精準(zhǔn)監(jiān)測是保障產(chǎn)能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。DKG ONE-CF4光聲光譜痕量四氟化碳?xì)怏w分析儀，憑借創(chuàng)新技術(shù)與性能，為潔凈室CF4污染物監(jiān)測提供了高效、穩(wěn)定且低成本的解決方案，重新定義痕量氣體監(jiān)測標(biāo)準(zhǔn)。

核心技術(shù)：雙重創(chuàng)新筑牢監(jiān)測精度基石

DKG ONE-CF4光聲光譜痕量四氟化碳?xì)怏w分析儀的精準(zhǔn)監(jiān)測能力，源于兩項核心技術(shù)的深度融合，從根源上突破傳統(tǒng)設(shè)備局限：

1.超靈敏探測系統(tǒng)：搭載超靈敏光學(xué)懸臂梁麥克風(fēng)，結(jié)合激光干涉儀可精準(zhǔn)捕捉懸臂梁微觀運動；搭配分布式反饋量子級聯(lián)激光（QCL）光源，精準(zhǔn)聚焦CF4中紅外基本光譜吸收峰，能無延遲探測微小濃度的CF4噴濺或溢出，監(jiān)測下限（LoD）低于0.1 ppb，實現(xiàn)痕量污染物“零遺漏”。

2.穩(wěn)定無漂移設(shè)計：采用直接吸收式檢測原理，具備“零背景”特性，無需依賴任何耗材或化學(xué)試劑。在運行過程中，即使環(huán)境溫度、樣品壓力在規(guī)定范圍內(nèi)變化，也不會引發(fā)設(shè)備漂移，重新校準(zhǔn)周期可長達(dá)數(shù)月甚至數(shù)年，擺脫頻繁校準(zhǔn)的困擾。

核心優(yōu)勢：多維度滿足潔凈室監(jiān)測需求

從監(jiān)測效率到運維成本，DKG ONE-CF4光聲光譜痕量四氟化碳?xì)怏w分析儀適配潔凈室復(fù)雜場景，為用戶創(chuàng)造多重價值：

監(jiān)測性能好：響應(yīng)時間可靈活設(shè)置（5秒-3分鐘），能快速捕捉污染物濃度突發(fā)上升；動態(tài)量程超5個數(shù)量級（為檢測下限的100,000倍），單點校準(zhǔn)即可達(dá)到業(yè)內(nèi)水平；且具備高選擇性，不受乙醛及其他VOC干擾，確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠。

操作靈活便捷：提供三種機箱方案適配不同場景——單氣體分析機型配備高分辨率顯示屏與旋轉(zhuǎn)按鈕，界面直觀易懂；可選便攜式外箱，便于可預(yù)見泄漏區(qū)域的移動檢測；多單元可整合為移動式監(jiān)測系統(tǒng)，能快速轉(zhuǎn)移至不同關(guān)鍵測點，實現(xiàn)覆蓋。

運維成本極低：內(nèi)置氣體交換泵與氣體交換系統(tǒng)，樣品需求量僅幾毫升，大幅減少氣體消耗；無耗材設(shè)計省去更換成本，長達(dá)數(shù)年的校準(zhǔn)間隔降低人工與時間投入；19”3U外殼適配臺式或機架安裝，節(jié)省潔凈室空間。

硬核參數(shù)：全場景適配工業(yè)需求

在通用性能與環(huán)境適應(yīng)性上，DKG ONE-CF4光聲光譜痕量四氟化碳?xì)怏w分析儀契合工業(yè)潔凈室的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)，保障穩(wěn)定運行：

通用配置全面：內(nèi)置計算機與7英寸寬屏顯示器，支持?jǐn)?shù)字式與圖線式結(jié)果顯示；數(shù)據(jù)存儲量充足，在最短采樣間隔下可連續(xù)存儲一年數(shù)據(jù)；接口豐富，涵蓋以太網(wǎng)、USB，可選RS485、RS232、電流輸出、電壓輸出、MODBUS及AK協(xié)議，還能通過手機、平板、電腦遠(yuǎn)程控制，操作便捷。

環(huán)境適應(yīng)性強：運行溫度覆蓋0℃-49℃，儲存溫度范圍-20℃-60℃；在750mbar-1050mbar壓力、無凝露環(huán)境下可穩(wěn)定工作（溫度達(dá)35℃時最大相對濕度80%，溫度達(dá)49℃時線性下降至35%）；防塵防水等級達(dá)IP20（IEC 529），適配多數(shù)工業(yè)潔凈室環(huán)境。

合規(guī)性有保障：嚴(yán)格符合低電壓指令2014/35/EU、EMC指令2004/108/EC及ROHS 2指令2011/65/EU，在安全性、電磁兼容性與環(huán)保性上均達(dá)到行業(yè)規(guī)范，可放心投入工業(yè)生產(chǎn)場景。

應(yīng)用價值：為潔凈室產(chǎn)能保駕護航

潔凈室污染物水平直接影響生產(chǎn)質(zhì)量與產(chǎn)能，DKG ONE-CF4光聲光譜痕量四氟化碳?xì)怏w分析儀通過準(zhǔn)確、可靠、低維護的AMC監(jiān)測，可實時掌控CF4污染物濃度，避免因泄漏導(dǎo)致的生產(chǎn)損失。其獨立運行特性與靈活的安裝、移動方案，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子制造、精密化工等依賴潔凈室生產(chǎn)的行業(yè)，為企業(yè)降本增效、提升核心競爭力提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。